九州産業大学学術リポジトリ: マグネトロンスパッタ装置の試作

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タイトル:	マグネトロンスパッタ装置の試作
その他のタイトル:	Trial Manufacture of Magnetron Sputtering Apparatus
著者:	阿久根, 忠博坂本, 進洋渋谷, 善夫 Akune, Tadahiro Sakamoto, Nobuyoshi Shibuya, Yoshio アクネ, タダヒロサカモト, ノブヨシシブヤ, ヨシオ九州産業大学工学部電気工学科/九州産業大学工学部電気工学科/九州産業大学工学部電気工学科
発行日:	1979年
出版者:	九州産業大学工学部
URI:	http://hdl.handle.net/11178/3670
出現コレクション:	第16号

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